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スペースファイン(超精密温調チャンバ)

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  • 独自・特殊技術
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±5/1,000℃レベルの精密温度制御を実現

高性能な位置あわせが求められる製造装置(半導体・液晶露光装置)や精密測定装置(電子天秤)に対し、直膨コイル+ホットガス再熱で省エネ・低コスト・高精度を実現します。

超精密温調チャンバの構造(外観、前室、チャンバ本室)

  • 直膨スペースファインユニットの設置例
    • 半導体、LCD工場内に設置される精密温調チャンバとして
    • その他、精密温調が必要とされる製造室、試験室として

  • 高精度マルチループ調節計を採用
    • 2ポイントセンサにより吹出空気をカスケード制御
    • 設置環境に合わせて適切に外乱補正制御
  • 清浄度 0.1m、クラス1
  • 低アウトガス資材により、チャンバ内のケミカル濃度を低減(ITRS対応)
  • 特殊断熱パネルを採用

お問い合わせ

こちらの技術内容及び工事・修理などのご相談は下記にて承ります。

カタログ一覧

一部のサービス・ソリューションに関するパンフレットがPDFでご覧になれます。

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