超精密温調チャンバ
ミニエンバイロメント技術
ミニエンバイロメント技術とは？
清浄度の高い空間を極小化することにより、設備のイニシャルコストとランニングコストを削減します。また、製品の品質や歩留まりの向上に貢献します。
- 監視・制御したい
概要
±5/1,000℃レベルの精密温度制御を実現
高性能な位置あわせが求められる製造装置（半導体・液晶露光装置）や精密測定装置（電子天秤）に対し、直膨コイル＋ホットガス再熱で省エネ・低コスト・高精度を実現します。
仕様
超精密温調チャンバの構造（外観、前室、チャンバ本室）
- 直膨スペースファインユニットの設置例
- 半導体、LCD工場内に設置される精密温調チャンバとして
- その他、精密温調が必要とされる製造室、試験室として
- 高精度マルチループ調節計を採用
- 2ポイントセンサにより吹出空気をカスケード制御
- 設置環境に合わせて適切に外乱補正制御
- 清浄度0.1m、クラス1
- 低アウトガス資材により、チャンバ内のケミカル濃度を低減（ITRS対応）
- 特殊断熱パネルを採用