超精密温調チャンバ

ミニエンバイロメント技術

大気社の技術

ミニエンバイロメント技術とは?

清浄度の高い空間を極小化することにより、設備のイニシャルコストとランニングコストを削減します。また、製品の品質や歩留まりの向上に貢献します。

こんな課題を解決できます

  • 監視・制御したい

概要

±5/1,000℃レベルの精密温度制御を実現

高性能な位置あわせが求められる製造装置(半導体・液晶露光装置)や精密測定装置(電子天秤)に対し、直膨コイル+ホットガス再熱で省エネ・低コスト・高精度を実現します。

仕様

超精密温調チャンバの構造(外観、前室、チャンバ本室)

  • 直膨スペースファインユニットの設置例
    • 半導体、LCD工場内に設置される精密温調チャンバとして
    • その他、精密温調が必要とされる製造室、試験室として
  • 高精度マルチループ調節計を採用
    • 2ポイントセンサにより吹出空気をカスケード制御
    • 設置環境に合わせて適切に外乱補正制御
  • 清浄度0.1m、クラス1
  • 低アウトガス資材により、チャンバ内のケミカル濃度を低減(ITRS対応)
  • 特殊断熱パネルを採用