クリーンディフューザ

インダストリアルクリーンルーム（ICR技術）｜気流制御技術

大気社の技術

インダストリアルクリーンルーム（ICR）技術とは？

先端の電子産業が要求する空気清浄度と高精度な温湿度・気流環境、分子汚染対策、微振動対策を省エネルギー、低コストに実現するための要素技術とトータルエンジニアリング。

気流制御技術とは？

クリーンルームへの給気を空気吹出口拡散機構により気流制御し、室内の清浄度、温湿度を均一化する技術

こんな課題を解決できます

設備効率・塗装品質を高めたい

概要
特長
シミュレーション・実験

概要

天井に部分的に配置したHEPA吹出口では、HEPAフィルターを通して天井から吹出される冷風がそのままでは拡散せずに下方に流れ、床下へ吸い込まれます。そのため、クリーンルーム内に空気のよどみ部分が発生し、クリーン度および温度分布が悪化します。
クリーンディフューザは、HEPA吹出気流を拡散することで、天井全面をダウンフロー気流に近づけて、換気回数を最小とする最適気流吹出システムを構築します。

特長

クリーンルームの気流分布を改善

HEPA吹出部の気流を拡散することで、吹出口の下部と吹出口のないエリアとの気流分布のムラをなくし、気流分布・温度分布を改善できます。
省エネルギー

HEPA吹出部の気流を拡散することで、吹出口1個あたりのカバーエリアが広くなり、循環風量を削減することができます。また、ファン動力削減にもつながります。